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運動控制系統(tǒng)驅(qū)動器電機執(zhí)行器|電動推桿|電動缸直線運動系統(tǒng)高精密定位平臺行星減速機直線軸承和直線導軌滾珠絲杠和梯形絲杠精密滾珠測量反饋裝置精密電主軸機器人關(guān)節(jié)模組
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運動控制系統(tǒng)驅(qū)動器電機執(zhí)行器|電動推桿|電動缸直線運動系統(tǒng)高精密定位平臺精密轉(zhuǎn)臺ABRT-400空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ABRS系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ARA1000空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ABRT系列空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ADRH機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ASR1000機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ASR1100機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ASR1200機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺CCS 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ACS 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ACS LP 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ANT95-R 單軸直驅(qū)納米定位轉(zhuǎn)臺ANT130-R 單軸直驅(qū)納米定位轉(zhuǎn)臺ADRS 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ADRT 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺APR 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ASRT 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ARMS 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺ALAR 機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺WaferMax T機械軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺AXR 雙軸精密轉(zhuǎn)臺組件MPS-GR 機械軸承蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺AGR 機械軸承蝸輪蝸桿轉(zhuǎn)臺精密直線定位平臺精密 X-Y 直線定位平臺精密升降平臺和Z軸平臺陶瓷電機驅(qū)動納米定位平臺行星減速機直線軸承和直線導軌滾珠絲杠和梯形絲杠精密滾珠測量反饋裝置精密電主軸機器人關(guān)節(jié)模組
ABRT-400空氣軸承精密直驅(qū)轉(zhuǎn)臺 | ABRT-400 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺

ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準系統(tǒng)的核心。ABRT-400 是一個大的具備納米級誤差運動性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的?？諝廨S承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣，并且實現(xiàn)電氣連接到被測裝置。


ABRT-400 可以用作高精度測量設(shè)備的標準角度標定，X射線衍射，蛋白質(zhì)晶體或高精度加工應用。

● 精度： < 0.6微弧度（ < 0.12弧秒）
● 最小增量步距： 0.035微弧度（ 0.007弧秒）
● 重復性： < 0.4微弧度（ < 0.08弧秒）
● 軸向運動誤差： < 50納米同步; < 10納米異步

● 徑向運動誤差： < 75納米同步; < 10納米異步


空氣軸承旋轉(zhuǎn)主軸
ABRT-400是Aerotech的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準系統(tǒng)的核心。ABRT-400是一個大的具備納米級誤差運動性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的?？諝廨S承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣，并且實現(xiàn)電氣連接到被測裝置。


ABRT-400可以用作高精度測量設(shè)備的標準角度標定，X射線衍射，蛋白質(zhì)結(jié)晶或高精度加工應用。