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從2001年開(kāi)始ALIO Industries 伴隨著“a better way”的理念去應(yīng)對(duì)21世紀(jì)納米和微米級(jí)精度的機(jī)器人技術(shù)的需求。這個(gè)最初的想法已經(jīng)演變成一個(gè)常規(guī)產(chǎn)品線，包括：六腳機(jī)器人系統(tǒng)、空氣軸承系統(tǒng)和機(jī)械軸承的直線和旋轉(zhuǎn)的納米級(jí)精度系統(tǒng)，這些產(chǎn)品可應(yīng)用于大氣、潔凈室和超高真空室環(huán)境。

ALIO是一個(gè)納米技術(shù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)領(lǐng)域的創(chuàng)新者。ALIO的設(shè)計(jì)已經(jīng)超越了當(dāng)前自動(dòng)化技術(shù)領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)的精密產(chǎn)品設(shè)計(jì)。持有6軸并聯(lián)腳架機(jī)器人和3軸并聯(lián)腳架機(jī)器人兩項(xiàng)特殊設(shè)計(jì)，ALIO已經(jīng)建立了nano 精度產(chǎn)品的設(shè)計(jì)平臺(tái)。

ALIO的直線和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)產(chǎn)品線設(shè)計(jì)成本效能合算并且很好的補(bǔ)充了高分辨率、極高精度運(yùn)動(dòng)的市場(chǎng)需求。這些成功的應(yīng)用可以用于普通大氣環(huán)境、潔凈室和真空室環(huán)境。ALIO的轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)計(jì)能夠用于單獨(dú)的運(yùn)動(dòng)或堆疊的各種連續(xù)運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)學(xué)結(jié)構(gòu)。

ALIO已經(jīng)開(kāi)發(fā)了一系列用于極高精度應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)的和客戶(hù)訂制的高分辨率空氣軸承平臺(tái)。根據(jù)應(yīng)用需求這些訂制的堅(jiān)固耐用的平臺(tái)與我們高剛性的和速度從1 微米/秒到超過(guò)1 米/秒的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品一樣可以提供5納米分辨率的性能。這些空氣軸承平臺(tái)非常適合那些先進(jìn)的FPD和半導(dǎo)體的度量衡、加工和維修所需要的平滑而精密的運(yùn)動(dòng)。