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運(yùn)動控制系統(tǒng)驅(qū)動器電機(jī)執(zhí)行器|電動推桿|電動缸直線運(yùn)動系統(tǒng)高精密定位平臺行星減速機(jī)直線軸承和直線導(dǎo)軌滾珠絲杠和梯形絲杠精密滾珠測量反饋裝置精密電主軸機(jī)器人關(guān)節(jié)模組
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全部資料驅(qū)動器電機(jī)執(zhí)行器|電動推桿|電動缸直線運(yùn)動系統(tǒng)高精密定位平臺行星減速機(jī)直線軸承和直線導(dǎo)軌滾珠絲杠和梯形絲杠運(yùn)動控制系統(tǒng)機(jī)器人關(guān)節(jié)模組其他相關(guān)資料
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陶瓷電機(jī)驅(qū)動納米定位平臺

從2001年開始ALIO Industries 伴隨著“a better way”的理念去應(yīng)對21世紀(jì)納米和微米級精度的機(jī)器人技術(shù)的需求。這個(gè)最初的想法已經(jīng)演變成一個(gè)常規(guī)產(chǎn)品線,包括:六腳機(jī)器人系統(tǒng)、空氣軸承系統(tǒng)和機(jī)械軸承的直線和旋轉(zhuǎn)的納米級精度系統(tǒng),這些產(chǎn)品可應(yīng)用于大氣、潔凈室和超高真空室環(huán)境。


ALIO是一個(gè)納米技術(shù)運(yùn)動系統(tǒng)領(lǐng)域的創(chuàng)新者。ALIO的設(shè)計(jì)已經(jīng)超越了當(dāng)前自動化技術(shù)領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)的精密產(chǎn)品設(shè)計(jì)。持有6軸并聯(lián)腳架機(jī)器人和3軸并聯(lián)腳架機(jī)器人兩項(xiàng)特殊設(shè)計(jì),ALIO已經(jīng)建立了nano 精度產(chǎn)品的設(shè)計(jì)平臺。


ALIO的直線和旋轉(zhuǎn)平臺產(chǎn)品線設(shè)計(jì)成本效能合算并且很好的補(bǔ)充了高分辨率、極高精度運(yùn)動的市場需求。這些成功的應(yīng)用可以用于普通大氣環(huán)境、潔凈室和真空室環(huán)境。ALIO的轉(zhuǎn)臺設(shè)計(jì)能夠用于單獨(dú)的運(yùn)動或堆疊的各種連續(xù)運(yùn)動的運(yùn)動學(xué)結(jié)構(gòu)。


ALIO已經(jīng)開發(fā)了一系列用于極高精度應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)的和客戶訂制的高分辨率空氣軸承平臺。根據(jù)應(yīng)用需求這些訂制的堅(jiān)固耐用的平臺與我們高剛性的和速度從1 微米/秒到超過1 米/秒的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品一樣可以提供5納米分辨率的性能。這些空氣軸承平臺非常適合那些先進(jìn)的FPD和半導(dǎo)體的度量衡、加工和維修所需要的平滑而精密的運(yùn)動。

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