
RG2是開(kāi)放式的非接觸直線(xiàn)光柵系統(tǒng),能夠消除摩擦和磨損,可保證高速、高分辨率的可靠運(yùn)動(dòng)。RG2具有獨(dú)創(chuàng)的20 µm柵距,確保了在大多數(shù)開(kāi)放式直線(xiàn)光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性。
非接觸式光柵具有高分辨率讀數(shù)頭和雷尼紹廣泛使用的鍍金鋼帶柵尺,柵尺可成卷供貨,方便控制庫(kù)存。
摩擦和機(jī)械滯后均為零。
性能高,可靠性強(qiáng)
RGH22直線(xiàn)光柵系統(tǒng)
RGH22直線(xiàn)光柵具有以下特性:堅(jiān)固耐用、性能可靠、50 nm分辨率、配有內(nèi)置LED安裝指示燈和抗污能力超強(qiáng)的獨(dú)特光學(xué)濾波系統(tǒng)。開(kāi)放式、非接觸RGH22讀數(shù)頭配有雷尼紹獨(dú)特靈活的20 µm RGS20-S鋼帶柵尺,具有50 nm的分辨率。
RGH22讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)
• 讀數(shù)頭小巧、堅(jiān)固,采用內(nèi)置細(xì)分電路,能夠提供具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出
• 非接觸式設(shè)計(jì)提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零
• 內(nèi)置LED安裝指示燈使讀數(shù)頭便于安裝
• 光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開(kāi)放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性
• 參考零位提供可重復(fù)的起始位置,而限位開(kāi)關(guān)則指示軸行程的終點(diǎn)
技術(shù)規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 |
16.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm (H x L x W) |
輸出(分辨率) |
RS422: 5 µm、1 µm、0.5 µm、0.1 µm、50 nm。 模擬: 1 Vpp、12 µA |
參考零位 | 磁勵(lì)體 |
限位開(kāi)關(guān) | 單限位或雙限位 |
最高速度 | 10 m/s |
間隙公差 |
0.8 ±0.1 mm |
柵尺類(lèi)型 | RGS20-S鋼帶柵尺 |
真空兼容 | 否 |
RGH24直線(xiàn)光柵系統(tǒng)
由于安裝簡(jiǎn)單、性能高,光柵廣泛應(yīng)用于各種行業(yè)。
模擬1 Vpp輸出或讀數(shù)頭內(nèi)置數(shù)字細(xì)分電路。
目前分辨率達(dá)10 nm。
開(kāi)放式、非接觸RGH24讀數(shù)頭配有雷尼紹獨(dú)特靈活的20 µm RGS20-S鋼帶柵尺,具有10 nm的分辨率。RGH24結(jié)構(gòu)輕巧,非常適宜在微云臺(tái)、磁勵(lì)塊及其他空間有限的場(chǎng)合應(yīng)用。
RGH24讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)
• 超小型讀數(shù)頭帶有內(nèi)置細(xì)分電路,能夠提供具備工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬和數(shù)字輸出
• 非接觸式設(shè)計(jì)提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零
• 內(nèi)置LED安裝指示燈使讀數(shù)頭便于安裝
• 光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開(kāi)放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性
• 參考零位提供可重復(fù)的起始位置,而限位開(kāi)關(guān)則指示軸行程的終點(diǎn)
• 可與包括10針JST接頭在內(nèi)的多種接頭選件配合使用,方便集成
技術(shù)規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 | 14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (H x L x W) |
輸出(分辨率) |
RS422: 5 µm、1 µm、0.5 µm、0.2 µm、0.1 µm、50 nm、20 nm、10 nm。 模擬: 1 Vpp、12 µA |
參考零位 | 磁勵(lì)體 |
限位開(kāi)關(guān) | 單限位 |
最高速度 | 10 m/s |
間隙公差 |
0.8 ±0.1 mm |
柵尺類(lèi)型 | RGS20-S鋼帶柵尺 |
真空兼容 | 否 |
RGH25F直線(xiàn)光柵系統(tǒng)
緊湊型讀數(shù)頭和一系列具有動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)節(jié)與5 nm分辨率的遠(yuǎn)程定位接口。
為小型系統(tǒng)帶來(lái)高性能。
也可提供UHV版本。
開(kāi)放式、非接觸、緊湊型RGH25F讀數(shù)頭配有雷尼紹獨(dú)特靈活的20 µm RGS20-S鋼帶柵尺并具有5 nm的分辨率。RGH25F輕薄小巧,具有通過(guò)REF接口進(jìn)行外部細(xì)分的功能,該功能可提供自動(dòng)增益控制、偏移量控制和診斷能力……
符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)的REF接口取代了RGB系列,具有高端SiGNUM™的性能和5 nm的分辨率。請(qǐng)注意:RGH25讀數(shù)頭和RGB接口目前已停產(chǎn)并由RGH25F和REF取代。
RGH25F讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)
• 緊湊型、低質(zhì)量讀數(shù)頭非常適合在空間有限的場(chǎng)合應(yīng)用
• 非接觸式設(shè)計(jì)提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零
• 接口上的內(nèi)置LED安裝指示燈使讀數(shù)頭便于安裝
• 光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開(kāi)放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性
• 自調(diào)節(jié)電路可確保高精度和長(zhǎng)期工作的可靠性
• 自動(dòng)增益控制 (AGC)、自動(dòng)偏移量控制 (AOC) 和自動(dòng)平衡控制 (ABC) 極大降低了周期誤差 (<±50 nm)
• 參考零位提供可重復(fù)的起始位置,而限位開(kāi)關(guān)則指示軸行程的終點(diǎn)
• 也可提供UHV兼容版本
技術(shù)規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 |
10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (H x L x W) |
輸出(分辨率) |
RS422: 5 µm、1 µm、0.5 µm、0.2 µm、0.1 µm、50 nm、20 nm、10 nm、5 nm。 模擬: 1 Vpp |
細(xì)分 | REF(x4至x4 000) |
參考零位 | 磁勵(lì)體 |
限位開(kāi)關(guān) | 單限位 |
最高速度 | 5 m/s |
間隙公差 |
0.8 ±0.1 mm |
柵尺類(lèi)型 | RGS20-S鋼帶柵尺 |
真空兼容 | 是 ― RGH25F UHV |
RGH26系列直線(xiàn)光柵系統(tǒng)
Mitsubishi直接與讀數(shù)頭進(jìn)行串行通信!
RGH26集RGH22的優(yōu)點(diǎn)與高級(jí)串行接口的堅(jiān)固性于一體,專(zhuān)門(mén)與Mitsubishi MELSERVO J2S和J3配合使用。
RGH26讀數(shù)頭專(zhuān)門(mén)與Mitsubishi的MELSERVO®- J2S/J3系列伺服放大器配合使用。與其他串行通信直線(xiàn)光柵不同的是,RGH26不需要單獨(dú)接口。電子裝置、細(xì)分電路和串口轉(zhuǎn)換均集成在同一個(gè)RGH22超輕型主體內(nèi)。RGH26讀數(shù)頭配有雷尼紹獨(dú)特靈活的20 µm RGS20-S鋼帶柵尺,具有0.5 nm的分辨率。
RGH26讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點(diǎn)
• 讀數(shù)頭小巧堅(jiān)固,采用內(nèi)置細(xì)分電路,能夠提供與Mitsubishi兼容的串行通訊信號(hào)格式
• 非接觸式設(shè)計(jì)提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零
• 由于增量計(jì)數(shù)在讀數(shù)頭內(nèi)進(jìn)行,因此系統(tǒng)具有出眾的抗噪能力
• 內(nèi)置LED安裝指示燈使讀數(shù)頭便于安裝
• 光學(xué)濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開(kāi)放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號(hào)穩(wěn)定性
• 參考零位提供可重復(fù)的起始位置,而限位開(kāi)關(guān)則指示軸行程的終點(diǎn)
技術(shù)規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 |
16.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm (H x L x W) |
輸出(分辨率) | 5 µm、1 µm、0.5 µm Mitsubishi串行輸出 |
參考零位 | 磁勵(lì)體 |
限位開(kāi)關(guān) | 雙限位 |
最高速度 | 6 m/s |
間隙公差 |
0.8 ±0.1 mm |
柵尺類(lèi)型 | RGS20-S鋼帶柵尺 |
真空兼容 | 否 |
RGS20-S 20 µm柵距鋼帶柵尺
20 µm RGS20-S由薄型柔性鋼帶制成;鋼帶經(jīng)過(guò)鍍金具有更高的反射率和耐腐蝕性。可以使用背面自帶的不干膠將其安裝到金屬、陶瓷和合成材料等大多數(shù)工程材料上。
• 柵尺成卷供貨,用戶(hù)可根據(jù)需要任意裁剪,可滿(mǎn)足長(zhǎng)達(dá)70 m的軸長(zhǎng)需要
• RGS-S柵尺的膨脹特性與基體材料(和柵尺粘貼)的膨脹特性一致,從而簡(jiǎn)化了系統(tǒng)的熱補(bǔ)償
• 安裝工具有助于快速精確地安裝柵尺
• 表面涂漆的柵尺易于清潔且堅(jiān)固耐用
• 可方便地“剪至所需長(zhǎng)度”,確保了不必要的浪費(fèi)和高效的庫(kù)存管理
• ±3 µm/m線(xiàn)性度通過(guò)簡(jiǎn)單的補(bǔ)償就可實(shí)現(xiàn)高精度
選項(xiàng)
提供20 µm模擬信號(hào)周期,或從5 µm到5 nm的數(shù)字信號(hào)分辨率。所有RG2直線(xiàn)光柵系統(tǒng)均配有獨(dú)創(chuàng)的集成LED安裝指示燈,如果安裝正確則亮綠燈。所有型號(hào)的讀數(shù)頭都有參考零位和/或限位開(kāi)關(guān)。參考零位提供可重復(fù)的起始位置或零點(diǎn),而限位開(kāi)關(guān)則指示行程的終點(diǎn)。RGH22具有雙限位開(kāi)關(guān)選項(xiàng),在行程的兩端提供各自的信號(hào)輸出。
技術(shù)
紅外發(fā)光二極管把光發(fā)射到光柵尺的刻劃面,然后通過(guò)透明的指示光柵刻劃面將光反射到讀數(shù)頭中。這樣就在讀數(shù)頭的檢測(cè)面產(chǎn)生了正弦干擾條紋。該光學(xué)系統(tǒng)采用對(duì)很多條紋進(jìn)行均分的技術(shù),有效濾掉了與光柵尺刻劃周期不匹配的信號(hào)。即使在光柵尺受到污染或輕微損壞的情況下,也能確保信號(hào)的穩(wěn)定性。
熱膨脹特性往往是決定總體測(cè)量精度的重要因素。RGS20-S鋼帶柵尺在端部緊固,因此迫使其膨脹特性與基體材料的膨脹特性一致,無(wú)需對(duì)不同的膨脹系數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償。
獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)確保了很小的短周期誤差,周期誤差(即電子細(xì)分誤差)通常小于±0.15 µm。線(xiàn)性誤差特性為每60 mm ±0.75 µm,或任意每米±3 µm。
RG2具有可靠耐用的光柵尺、優(yōu)異的測(cè)量性能,并且可根據(jù)用戶(hù)需要剪至任意長(zhǎng)度。RGS20-S鍍金鋼帶柵尺表面涂漆,不像傳統(tǒng)光柵尺那樣要求小心操作和清潔。背面自帶不干膠,安裝簡(jiǎn)單快捷;對(duì)于各種型號(hào)的讀數(shù)頭,有不同的安裝工具可供選擇。將參考零位、限位開(kāi)關(guān)和端壓塊粘到相應(yīng)的位置,即可完成安裝。